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HORIBA JY在线椭偏仪In-situ series
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产品简今/div>

仪器介绍9/strong>

在镀膜或刻蚀的过程中,实时监测样品膜的膜厚以及光学常数(n,k)变化、/span>

技术参数:

可实现快速、实时在线监测样品膜层变匕/span>

主要特点9/strong>

将激发和探测头引入生产设备,可实?

动态模弎实时监测膜厚变化

光谱模式:监测薄膜的界面和组刅/span>

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