产品简今�/h2>

MCS 系列耐腐蚀气体质量流量控制�?/span>可快速达到设定值并保持� 128 多种气体（包� 32 种腐蚀性气体）的质量流量、体积流量或压力的稳定控制、�/span>

• 腐蚀性气体兼� -�?2 种纯腐蚀性气体和大多数制冷剂气体兼容的接液材料、�/p>

• 用途广泛且准确-�?28 种以上的气体� 20 种自定义混合物进行实时控制，具有 NIST 可追溯精度至 ±（读数的 0.4% + 满量程的 0.2%）、�/p>

• 快速控制，多变量数� -通电后的毫秒响应时间，以您选择的工程单位控制质量流量、体积流量或压力，并显示瞬时流量、压力和温度读数、�/p>

• 易于集成 -定制过程端口和电气连接器，以及您选择� EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU � TCP/IP）或串行通信，以便轻松集成到您的工业过程中、�/p>

性能指标

精度	± 0.8 %R.D and ± 0.2 %F.S
重复�?/p>	± 0.2 %F.S
控制范围	1�?00% F.S
控制响应时间	（T63）用户可调：0.5 SCCM-5 SCCM :100-4000ms�?0 SCCM-20 SLM :30-4000ms�?0 SLM-5000 SLM�?0-150ms
显示响应时间	用户可调�?.5 SCCM-5 SCCM :100-4000ms�?0 SCCM-20 SLM :<10ms�?0 SLM-5000 SLM�?5-255ms
温度精度	±0.75°C
工作温度	�?0�?0°C
压力精度	±0.5%R.D
预热时间	<1 s

电气参数

模拟通讯	4�?0 mA, 0�? VDC, 1�? VDC, 0�?0 VDC
数字通讯	RS-232�?nbsp;RS-485 ；Modbus RTU (over RS-232 or RS-485), Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus
电气接口	6 pin locking, 8 pin mini-DIN, 8 pin M12, DB-9, DB-15
�?nbsp; 溏�/span>	12 - 30 VDC：�span style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-stretch: inherit; font-size: inherit; line-height: 22px; font-optical-sizing: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; vertical-align: baseline; background-color: rgb(255, 255, 255);"> 250 mA�? A�? A额外� 40 mA� 4-20 mA （�/span>

机械参数

阀门类垊�/span>	常闭
密封材质	316L�?03、和430FR不锈钢、FFKM（标准）可根据特殊气体选用FKM或EPDM，R阀门增�?10不锈钡�/span>