产品简今�/h2>

对于大数额订单，BASIS糺�/span>列OEM气体质量流量控制�?/span>，能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商（OEM）无应力设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特特有的快速阀门控制、�/span>

• 可靠-BASIS系列OEM气体质量流量控制器绝不会让您感到失望，NIST可溯源的精度与重复性使其在工作�?00天时仍像**天一样、�/span>

• 灵敏-您不会再因为压力峰值而毁了一整天。BASIS系列OEM气体质量流量控制器具有业�?*的控制速度和阀门调节，能带给用户的益处将远远超出预期、�/span>

• 兼容-BASIS系列OEM气体质量流量控制器应用范围相当广，轻便灵巧、多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目设计提供更大的灵活性、�/span>

性能指标

精度	± 1.5 %R.D and ± 0.5 %F.S
重复�?/p>	± 0.5 % R.D
控制范围	1�?00% F.S ( 0 -100SCCM ) ：�span style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-stretch: inherit; font-size: inherit; line-height: 22px; font-optical-sizing: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; vertical-align: baseline;">0.5�?00% F.S ( 0 -1000SCCM�?-20SLM�?-50SLM )
响应时间	优于100 ms
工作温度	0�?0°C
预热时间	70 ms

电气参数

模拟通讯	4�?0 mA, 0�? VDC,
数字通讯	RS-232�?nbsp;RS-485 ；Modbus RTU协议
�?nbsp; 溏�/span>	10 - 30 VDC：�span style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-stretch: inherit; font-size: inherit; line-height: 22px; font-family: inherit; font-optical-sizing: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; vertical-align: baseline;"> 200 mA

机械参数

阀门类垊�/span>	常闭
阀体材�?/td>	不锈钡�/td>
密封材质	FKM