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博思飞尔(上海)仪器科技有限公司
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产品分类
测量/计量仪器
MC系列高流量气体流量控制器
定制加工仵/a>
产品简今/div>
工作范围
型号 |
**满量程(N2标准(/th> | *小满量程(N2标准(/th> |
---|---|---|
VIC-D210 | 1.5SLM | 5SCCM |
VIC-D220 | 50 SLM | 1.5 SLM |
VIC-D230 | 100 SLM | 50 SLM |
VIC-D240 | 200 SLM | 100 SLM |
VIC-D245 | 400 SLM | 200 SLM |
性能指标
流量精度 |
?nbsp;±1% F.S |
重复?/span> | ±0.2% F.S |
控制范围 | 2%~100% F.S |
响应时间 | ≣span style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; font-style: inherit; font-variant: inherit; font-stretch: inherit; font-size: inherit; line-height: 22px; font-family: inherit; font-optical-sizing: inherit; font-kerning: inherit; font-feature-settings: inherit; font-variation-settings: inherit; vertical-align: baseline; color: rgb(0, 0, 0); background-color: rgb(245, 246, 248) !important;"> 1.0 sec (10 ~ 100%) |
工作温度 | 0~50 ℂbr/> |
线?/span> | 满量程的 ± 0.2% |
预热时间 | 15分钟 (准确度保证:30分钟) |
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