产品简介：

• 基于视窗结构的软件，很容易操佛�/p>

• 先进的深紫外光学及坚固耐用的抗震设计，以确保系统能发挥出好的性能及长的正常运行时闳�/p>

• 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测野�/p>

• 低价格，便携式及灵巧的操作台面设讠�/p>

• 在很小的尺寸范围内，多可测量多达5层的薄膜厚度及折射率

• 在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参�?/p>

• 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射玆�/p>

• 系统配备大量的光学常数数据及数据庒�/p>

• 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分枏�/p>

• 系统集合了可视化、光谱测量、仿真、薄膜厚度测量等功能于一佒�/p>

• 能够应用于不同类型、不同厚�?zui厚可�?00mm)的基片测野�/p>

• 使用深紫外光测量的薄膜厚度zui低可�?0 ?

• 2D�?D的图形输出和友好的用户数据管理界靡�/p>

• 先进的成像软件可用于诸如角度、距离、面积、粒子计数等尺寸测量

• 各种不同的选配件可满足客户各种特殊的应�?/p>

系统配置９�/strong>

• 型号：MSP100RTM

• 探测器：2048像素的CCD阵列

• 光源：高功率的深紫外－可见光光源

• 光传送方式：光纤

• 自动的台架平台：特殊处理的铝合金操作平台，能够在5�?#215;3”的距离上移动，并且有着1��m的分辨率，程序控刵�/p>

• 物镜有着长焦点距禺�4���?0���?5��(DUV)�?0��

• 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连

• 测量类型：反�?透射光谱、薄膜厚�?反射光谱和特性参�?/p>

• 计算机硬件：英特儿酷�?双核处理器，200G硬盘、DVD刻录机，19”LCD显示�?/p>

• 电源�?10�?40V AC/50-60Hz�?A

• 尺寸�?6’x16’x18� (操作桌面设置)

• 重量�?20磅总重

• 保修：一年的整机及零备件保修

基本参数９�/strong>

• 波长范围�?50nm�?000 nm

• 波长分辨玆� 1nm

• 光斑尺寸�?00?m (4x)� 40?m (10x)� 30?m (15x)� 8?m (50x)

• 基片尺寸：zui多可�?0mm厙�/p>

• 测量厚度范围: 20? �?5 ?m

• 测量时间：zui�?毫秒

• 精度*：优�?.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）

• 重复性误�?：小�? ?

应用领域９�/strong>

• 半导体制造（PR，Oxide� Nitride..)

• 液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..（�/p>

• 医学，生物薄膜及材料领域筈�/p>

• 油墨，矿物学，颜料，调色剂等

• 医药及医药中间设备等

• 光学涂层，TiO2� SiO2� Ta2O5... ..

• 半导体化合物

• 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膛�/p>

• 非晶体，纳米材料和结晶硅

产品可选项９�/strong>

• 波长可扩展到远深紫外光或者近红外光范図�/p>

• 高功率的深紫外光?用于小斑点测野�/p>

• 可根据客户的特殊需求来定制

• 在动态实验研究时，可根据需要对平台进行加热或致冶�/p>

• 可选择的平台尺寸zui多可测量300??mm大小尺寸的样�?/p>

• 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm

• 各种滤光片可供各种特殊的需汁�/p>

• 可添加应用于荧光测量的附仵�/p>

• 可添加用于拉曼应用的附件

• 可添加用于偏光应用的附件