产品简介：

SE椭偏仪系列薄膜分析产品来自美国AST公司，其可以实现薄膜厚度精准测量，同时可以实�?2层的薄膜厚度测试，同样对于材料NK参数也可以实现准确测量，为人们针对薄膜进行分析提供了极大便利、�/p>

特点９�/strong>

�� 易于安装

�� 基于视窗结构的软件，很容易操佛�/p>

�� 先进的光学设计，以确保能发挥�?*的系统性能

�� 能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角�?/p>

�� 高功率的DUV－VIS光源，能够应用在很宽的波段内

�� 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测野�/p>

�� *多可测量12层薄膜的厚度及折射率

�� 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率等参数

�� 系统配备大量的光学常数数据及数据庒�/p>

�� 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的TFProbe3.0软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析；

�� 三种不同水平的用户控制模式：专家模式、系统服务模式及初级用户模式

�� 灵活的专家模式可用于各种独特的设置和光学模型测试

�� 健全的一键按�?Turn－key)对于快速和日常的测量提供了很好的解决方桇�/p>

�� 用户可根据自己的喜好及操作习惯来配置参数的测野�/p>

�� 系统有着全自动的计算功能及初始化功能

�� 无需外部的光学器件，系统从样品测量信号中，直接就可以对样品进行精确的校准

�� 可精密的调节高度及倾斜�?/p>

�� 能够应用于测量不同厚度、不同类型的基片

�� 各种方案及附件可用于诸如平面成像、测量波长扩展、焦斑测量等各种特殊的需汁�/p>

�� 2D�?D的图形输出和友好的用户数据管理界面、�/p>

系统配置９�/strong>

�� 型号：SE200AM-M300;SE500BA系列

�� 探测器：PMT

�� 光源：高功率的DUV-Vis光源

�� 指示角度变化：根据设定的程序，自动变匕�/p>

�� 平台�?#961;-��配置的自动成僎�/p>

�� 软件：TFProbe 3.2版本的软仵�/p>

�� 计算机：Inter双核处理器�?9”宽屏LCD显示�?/p>

�� 电源�?10�?40V AC/50-60Hz�?A

�� 保修：一年的整机及零备件保修

规格９�/strong>

�� 波长范围�?50nm�?50 nm

�� 波长分辨玆� 0.1nm

�� 光斑尺寸�?mm�?mm可变

�� 入射角范围：10�?0�?/p>

�� 入射角变化分辨率�?� 间隔

�� 样品尺寸�?*直径�?00mm

�� 基板尺寸�?多可�?0毫米厙�/p>

�� 测量厚度范围*�?nm?10��m

�� 测量时间：约1�?位置�

�� 精确�?：优�?.25＄�/p>

�� 重复性误�?：小�? ?

选项:

�� 用于反射的光度测量或透射测量

�� 用于测量小区域的微小光斑

�� 用于改变入射角度的自动量角器

�� X－Y成像平台(X-Y模式，取�?#961;-��模式)

�� 加热/致冷平台

�� 样品垂直安装角度讠�/p>

�� 波长可扩展到远DUV或IR范围

�� 联合MSP的数字成像功能，可用于对样品的图像进行测野�/p>

应用:

�� 半导体制造（PR，Oxide� Nitride..)

�� 液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..�

�� 医学，生物薄膜及材料领域筈�/p>

�� 油墨，矿物学，颜料，调色剂等

�� 医药，中间设夆�/p>

�� 光学涂层，TiO2� SiO2� Ta2O5... ..

�� 半导体化合物

�� 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膛�/p>

�� 非晶体，纳米材料和结晶硅

�� 太阳能电池工丙�/p>

应用实例:

客户遍布全球主要科研大学及主要半导体厂商９�/p>

NIST

ISMI

NASA

JPL

Marshall Space Center

Air Force

MIT

Columbia University

UC Berkeley

Georgia Tech

University of Virginia

USTC，China

...

Bell Laboratories

HP

GE

Lockheed Martin

Corning

Applied Materials

First Solar

Dow Chemical

Samsung

Texas Instruments

National Semiconductor

...

详情关注９�span>北京燕京电子有限公司