产品介绍９�/span>

• 反应舱：

  材料：铝

  有效尺寸�?00 x 400 x 400mm

  容积�?4卆�/p>

  舱门：装有可视窗叢�/p>

  托盘�?个。尺寸：305 x 360 x 40mm

• 真空度测量：

  皮拉尼真空计（利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而电阻丝温度的变化又与其周围气体的热导率有关（�/span>

• 真空泵：

  旋片式真空泵�?0m³每小时；含真空泵油、�/span>

• 频射发生器：

  0~600w可调�?00KHZ发生�?/span>

• 控制系统９�/p>

  触摸屏操作，PLC控制系统

  PLC可实现下列功能：

  1、自动控制反应过程；

  ? 2、根据处理材料设定不同的处理工艺流程：�/p>

  ? 3、测定真空泵压力、抽真空时间、充气速度、工作压力、处理时间、温度、频射发生器输入电压等指标；

  ? 4、监测所有的运行指标，保证在设定范围之内：�/p>

  ? 5� 设定操作、维护密码、�/span>

• 电源９�/p>

  380V AC、三相�?0Hz�?0A.

• 反应气体９�/p>

  一个气体输入端口，含气体流量控制器（MFC）；根据用户需要，可扩屔�/span>

• 气体输入９�/p>

  直径1/4英寸�?.645厘米）管道；输入压力�?Bar.

• 尾气排放９�/p>

  直径28mm 输出端口、�/span>

• 安全性能９�/p>

  急停开关；真空泵保护锁；高温保护锁；CE安全认证、�/span>

可选件９�/span>

• 300 m³/小时 的机械增压泵

• 频射发生器：2.45GHZ� 13.56MHZ

• 多个气体输入管道、�/span>

• 根据客户工艺要求制作的软件程庎�/span>

• 根据客户要求制作的托盘、�/span>

• 辊轮式载料系统�

• N₂Purge.

相关产品应用及产品技术问题，欢迎关注９�strong>北京燕京电子官方页面，或与我们联系、�/p>

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