MSP系列薄膜分析产品来自美国AST（Angstrom Sun ）公司，其可以实现微小区域薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜微小区域进行分析提供了极大便利、�/p>

产品简介：

显微分光光度�?Micro-Photometry、Micro Spectrophotometry)是用来描述薄膜、涂层厚度超�?微米的物件的光学性能的。显微分光光度计同样也被称作为：microreflectometer、micro-reflectometer、microspectrometer、microphotometer(Spectroscopic)、microspectroscopic photometer等等。依靠着Angstrom公司独特的专业设计，MSP系列产品有着在线的实时数字成像系统，以及强大的数字编辑能力、拥有者反射率、透射率及吸收光谱等测量工具。可以在毫秒的时间内就完成数据采集。在进行诸如反射、透射、涂层厚度、折射率(光学常数)等光学性能改变的运动学研究方面，TFProbe软件允许用户设立加热阶段或冷却阶段。在各种MSP型号的可移动X-Y平台�?#961;-��平台中都可以用到自动成像功能，在使用螺杆的电动调焦功能上也同样的能使用此功能。仪器所能测量的波长范围通常是用户考虑�?重要的一个参数，Angstrom公司的MSP产品，其测量波长覆盖了从深紫外光(DUV)到近红外光的范围。这个波长范围应当诸如薄膜或涂层的厚度、反射或透射的典型波长范围等因素决定、�/p>

产品特点９�/strong>

• 基于视窗结构的软件，很容易操佛�/p>

• 先进的深紫外光学及坚固耐用的抗震设计，以确保系统能发挥�?*的性能�?长的正常运行时间

• 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测野�/p>

• 低价格，便携式及灵巧的操作台面设讠�/p>

• 在很小的尺寸范围内，*多可测量多达5层的薄膜厚度及折射率

• 在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参�?/p>

• 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射玆�/p>

• 系统配备大量的光学常数数据及数据庒�/p>

• 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分枏�/p>

• 系统集合了可视化、光谱测量、仿真、薄膜厚度测量等功能于一佒�/p>

• 能够应用于不同类型、不同厚�?*厚可�?00mm)的基片测野�/p>

• 使用深紫外光测量的薄膜厚�?低可�?0 ?

• 2D�?D的图形输出和友好的用户数据管理界靡�/p>

• 先进的成像软件可用于诸如角度、距离、面积、粒子计数等尺寸测量

• 各种不同的选配件可满足客户各种特殊的应�?/p>

系统配置９�/strong>

• 型号：MSP300R

• 探测器：2048像素的CCD阵列

• 光源：直流稳压卤素灯

• 光传送方式：光纤

• 自动的台架平台：特殊处理的铝合金操作平台，手动调节移动范围为75mm��55mm

• 物镜有着长焦点距禺�4���?0���?0��

• 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连

• 测量类型：反�?透射光谱、薄膜厚�?反射光谱和特性参�?/p>

• 计算机硬件：英特儿酷�?双核处理器，200G硬盘、DVD刻录机，19”LCD显示�?/p>

• 电源�?10�?40V AC/50-60Hz�?A

• 尺寸�?6’x16’x18� (操作桌面设置)

• 重量�?20磅总重

• 保修：一年的整机及零备件保修

基本参数９�/strong>

• 波长范围�?00nm�?000 nm

• 波长分辨玆� 1nm

• 光斑尺寸�?00?m (4x)� 40?m (10x)� 8?m (50x)

• 样品尺寸：标�?50��150mm

• 基片尺寸�?多可�?0mm厙�/p>

• 测量厚度范围: 10nm �?5 ?m

• 测量时间�?�?毫秒

• 精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）

• 重复性误差：小于2 ?

应用领域９�/strong>

• 半导体制造（PR，Oxide� Nitride..)

• 液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..（�/p>

• 医学，生物薄膜及材料领域筈�/p>

• 油墨，矿物学，颜料，调色剂等

• 医药及医药中间设备等

• 光学涂层，TiO2� SiO2� Ta2O5... ..

• 半导体化合物

• 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膛�/p>

• 非晶体，纳米材料和结晶硅

产品可选项９�/strong>

• 波长可扩展到远深紫外�?MSP100)或者近红外光范�?MSP500)

• 高功率的深紫外光?用于小斑点测野�/p>

• 可根据客户的特殊需求来定制

• 在动态实验研究时，可根据需要对平台进行加热或致冶�/p>

• 可选择的平台尺�?多可测量300mm大小尺寸的样�?/p>

• 更高的波长范围的分辨率可低至0.1nm

• 各种滤光片可供各种特殊的需汁�/p>

• 可添加应用于荧光测量的附仵�/p>

• 可添加用于拉曼应用的附件

• 可添加用于偏光应用的附件

• 自动成像平台*多可�?00mm的晶片进行操佛�/p>

相关薄膜物性分枏�/span>产品应用及产品技术问题，

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薄膜物性分枏�/span>仪器系列（膜厚，光学参数＋�span>反射谱及颜色，膜面阻，等（�/span>

膜厚，光学参数：

SR100 薄膜分析�?/p>

SR300 薄膜分析�?/p>

SR500 薄膜分析�?/p>

SE200BA 椭偏薄膜分析�?/p>

SE200BM 椭偏薄膜分析�?/p>

SE200-MSP 椭偏薄膜分析�?/p>

SE300BM 椭偏薄膜分析�?/p>

SE500BA 椭偏薄膜分析�?/p>

MSP100 薄膜分析�?/p>

MSP300 薄膜分析�?/p>

MSP500 薄膜分析�?/p>

uRaman TechnoSpex-拉曼光谱仪及模块

膜面阻：

EddyCus?-TF lab 2020�?/p>

EddyCus?-TF lab 4040�?/p>

EddyCus?-TF map 2020SR�?/p>

EddyCus?-TF map Hybrid �?/p>

EddyCus?-TF inline�?/p>

EddyCus?-TF lab Hybrid

定制垊�/p>