产品简介：

SR系列薄膜分析产品来自美国AST（Angstrom Sun）公司，其可以实现薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的测量，同样对于材料NK参数也可以实现测量，为人们针对薄膜进行分析提供了极大便利、�/span>

特点９�/span>

�� 易于安装

�� 容易操作的基于视窗结构的软件

�� 先进的光学设计，以确保能发挥�?*的系统性能

�� 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测野�/span>

�� 独特的光源设计，有着较好的光源强度稳定�?/span>

�� 有四种方法来调整光的强度９�/span>

�� 通过电源的调节旋钮来调节电源输出的大導�/span>

�� 在光输出端口滤光槽内调整滤光片来调整

�� 调整光束大小

�� 通过TFProbe软件，在探测器里调整积分时间

�� *多可测量5层的薄膜厚度和折射率

�� 在毫秒的时间内，可以获得反射率、传输率和吸收光谱等一些参�?/span>

�� 能够用于实时或在线的厚度、折射率测量

�� 系统配备大量的光学常数数据及数据庒�/span>

�� 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分析；

�� 可升级至MSP（显微分光光度计）系统，SRM成像系统，多通道分析系统，大点测量、�/span>

�� 通过模式和特性结构直接测量、�/span>

�� 提供的各种配件可用于特殊结构的测量，例如通过曲线表面进行纵长测量、�/span>

�� 2D�?D的图形输出和友好的用户数据管理界面、�/span>

系统配置９�/span>

�� 型号：SR300

�� 探测器： 2048像素的CCD线阵刖�/span>

�� 光源：高稳定性、长寿命的卤素灯

�� 光传送方式：光纤

�� 台架平台：特殊处理铝合金，能够很容易的调节样品重量�?00mmx200mm的大導�/span>

�� 软件�TFProbe 2.2版本的软仵�/span>

�� 通讯接口：USB的通讯接口与计算机相连

�� 测量类型：薄膜厚度，反射光谱，折射率

�� 电脑硬件要求：P3以上�?�?0 MB的空闳�/span>

�� 电源�?10�?40V AC/50-60Hz�?.5A

�� 保修：一年的整机及零备件保修

选项

?

1用于传递和吸收测量的传动夹�?SR300RT) )

2.*低可测量直径�?��m(MSP300)

3. 在多个位置下，多个通道用于同时测量(SR300xX)

4. 在超�?00�?00毫米晶片上所进行的统一测绘（SRM300-300/200（�/span>

规格�

�� 波长范围�?00�?100 nm

�� 光斑尺寸�?00��m�?mm

�� 样品尺寸�?00mmx200mm或直径为200mm

�� 基板尺寸�?多可�?0毫米厙�/span>

�� 测量厚度范围�?0nm�?0��m

�� 测量时间�?�?毫秒

�� 精确度：优于0.5％（通过使用相同的光学常数，让椭偏仪的结果与热氧化物样品相比较）

�� 重复性误差：小于1?

应用:

?半导体制造（PR＋�/span>Oxide� Nitride..)

?液晶显示＇�/span>ITO＋�/span>PR＋�/span>cell gap... ..（�/span>

?医学，生物薄膜及材料领域筈�/span>

?油墨，矿物学，颜料，墨粉

?医药，中间设夆�/span>

?光学涂层＋�/span>TiO2� SiO2� Ta2O5... ..

?半导体化合物

?�?/span>MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膛�/span>

?非晶体，纳米材料和结晶硅

………�?/p>

相关薄膜物性分枏�/span>产品应用及产品技术问题，

欢迎关注９�strong>北京燕京电子官方页面，或与我们联系、�/p>

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薄膜物性分枏�/span>仪器系列（膜厚，光学参数＋�span>反射谱及颜色，膜面阻，等（�/span>

膜厚，光学参数：

SR100 薄膜分析�?/p>

SR300 薄膜分析�?/p>

SR500 薄膜分析�?/p>

SE200BA 椭偏薄膜分析�?/p>

SE200BM 椭偏薄膜分析�?/p>

SE200-MSP 椭偏薄膜分析�?/p>

SE300BM 椭偏薄膜分析�?/p>

SE500BA 椭偏薄膜分析�?/p>

MSP100 薄膜分析�?/p>

MSP300 薄膜分析�?/p>

MSP500 薄膜分析�?/p>

uRaman TechnoSpex-拉曼光谱仪及模块

膜面阻：

EddyCus?-TF lab 2020�?/p>

EddyCus?-TF lab 4040�?/p>

EddyCus?-TF map 2020SR�?/p>

EddyCus?-TF map Hybrid �?/p>

EddyCus?-TF inline�?/p>

EddyCus?-TF lab Hybrid

定制垊�/p>