产品简今�/strong>

EddyCus? TF lab系列产品是一款适合实验室研发或成品检测使用的面阻及膜厚实时测量仪器。其应用领域广泛，不仅适用于玻璃、硅、塑料基板上的导电性薄膜的面电阻和厚度的测量，同时也适用于多种单层膜材料厚度的实时测量。根据传感器之间距离的不同，EddyCus TF lab可满足不同的测试需求，传感器标准距离为10mm，zui大距离可�?0mm、�/p>

应用领域９�/p>

��薄膜面电阻的测量

��薄膜厚度的测野�/p>

��导电性基板厚度的测量

��与电阻相关的其他参数的测野�/p>

技术特点：

��非接触式实时测量

��可实现对几乎所有平面样品的测量

��测量传感器与样品之间的距离及测量 点的大小可调

��扫频范围可达256个频率点

��薄膜厚度测量可至纳米量级

��操作简单，软件功能丰富

技术指栆�/td>		EddyCus? TF lab-1	EddyCus? TF lab-2
传感器之间距禺�/td>		10mm	up to 60 mm possible
厚度测量 范围	高导电率材料 (大于 10 MS/m)	5 nm � 50 ?m	5 nm � 100 ?m
	低导电率材料 (小于 10 MS/m)	10 nm � 1 mm	10 nm � 250 ?m
面阻测量范围		0�?1 � 1000 ?/sq
导电率范図�/td>		1� 67 MS/m
薄膜厚度测量精度		�� 10% from <20 nm �� 5% from 20-200 nm �� 2�?% from 200nm� 1 ?m �� 1% from > 1 ?m
面电阻测量精� (e.g. TCO)		�� 2�?% from 0�?1 � 20 ?/sq �� 5% from 20 � 100 ?/sq �� 10% from 100 � 1000 ?/sq
传感�?/td>		可根据不同应用要求配置传感器

相关产品９�/span>

EddyCus-TFlab2020�?/span>

EddyCus-TFlab4040�?/span>

EddyCus-TF map 2020SR�?/span>EddyCus-TFinline�?/span>

EddyCus-TFlab Hybrid

EddyCus-TF mapHybrid

………�?/p>

详询９�span>北京燕京电子有限公司