Best tools 匀胶显影一体机 SC100D

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简今�/span>

SC100D匀胶显影机是在SC100标准型匀胶机的基础上增加了显影系统，被设计为用来处理小片至8英寸晶圆尺寸基板�?英寸方形基板的匀胶及显影、�/span>

SC100D�?/span>SC100匀胶机上增加了显影液防溅罩，可配备四路喷淋系统，包括显影液和去离子水等，以及满足客户其他工艺要求的试剂。每一路自动喷液系统包括：喷嘴、喷嘴支架、气体控制阀、控制器、压力桶和配套连接管路等部件、�/span>

SC100D使用工业级伺服马达和PLC控制＋�/span>7寸全彩触屏人机操作界面。设计结构紧凑、简单易用，可进行程控操作，具有优异的性价比、�/span>

规格参数

项目	参数
基板zui大直徃�/span>	8英寸
转逞�/span>	0~10000RPM可调
转速控制精�?/span>	1RPM
加速度	10-50000RPM/S（空载）
程序	可编�?00�?00步程庎�/span>
运转zui大时镾�/span>	3000S
时间设置精度	0.1S
显示	7“�/span>全彩触摸屎�/span>
机体材料	HDPE内腔，SUS外壳，耐溶剂PC透明盕�/span>

功能图解

SC100D外形尺寸

应用系统

PDMS芯片制作

MEMS器件加工