椭圆偏振光谱仪主要用于准确测量薄膜厚度，光学常数，薄膜表面粗糙度以及其他的物理，化学，光学性能。美国AST公司设计和制造适合不同应用的高品质椭圆偏振光谱系统，其产品具有强大的分析功能软件TFProbe3.0，可以帮助研发或实验人员迅速地获得薄膜的厚度，表面粗糙度，合金成分和介电常数等数据�

产品特点９�/span>

• 易于安装

• 基于视窗结构的软件，很容易操佛�/p>

• 先进的光学设计，以确保能发挥出好的系统性能

• 能够自动的以0.01度的分辨率改变入射角�?/p>

• 高功率的DUV－VIS光源，能够应用在很宽的波段内

• 基于阵列设计的探测器系统，以确保快速测野�/p>

• zui多可测量12层薄膜的厚度及折射率

• 能够用于实时或在线的监控光谱、厚度及折射率等参数

• 系统配备大量的光学常数数据及数据庒�/p>

• 对于每个被测薄膜样品，用户可以利用先进的TFProbe3.0软件功能选择使用NK数据库、也可以进行色散或者复合模型（EMA）测量分枏�/p>

• 三种不同水平的用户控制模式：专家模式、系统服务模式及初级用户模式

• 灵活的专家模式可用于各种独特的设置和光学模型测试

• 健全的一键按�?Turn－key)对于快速和日常的测量提供了很好的解决方桇�/p>

• 用户可根据自己的喜好及操作习惯来配置参数的测野�/p>

• 系统有着全自动的计算功能及初始化功能

• 无需外部的光学器件，系统从样品测量信号中，直接就可以对样品进行准确的校准

• 可调节高度及倾斜�?/p>

• 能够应用于测量不同厚度、不同类型的基片

• 各种方案及附件可用于诸如平面成像、测量波长扩展、焦斑测量等各种特殊的需汁�/p>

• 2D�?D的图形输出和友好的用户数据管理界面、�/p>

• 可用于微观区域选项的数字成像工其�/p>

• 对整个小区域可进行反射测量的整体式反射计

系统配置９�/strong>

• 型号：SE200BA-MSP-M300

• 探测器：阵列探测�?/p>

• 光源：高功率的DUV-Vis-NIR复合光源

• 指示角度变化：可编程设定，自动可谂�/p>

• 平台�?#961;-��配置的自动成僎�/p>

• 软件：TFProbe 3.2版本的软仵�/p>

• 整合了SE和MSP系列的优炸�/p>

• 计算机：Inter双核处理器�?9”宽屏LCD显示�?/p>

• 电源�?10�?40V AC/50-60Hz�?A

• 保修：一年的整机及零备件保修

基本参数９�/strong>

• 波长范围�?50nm�?000 nm

• 波长分辨玆� 1nm

• 光斑尺寸�?mm�?mm可变

• 入射角范围：10�?0�?/p>

• 入射角变化分辨率�?.01�?/p>

• 数字成像像素�?30丆�/p>

• 有效放大倍数�?200��

• 长物镜工作距离：12mm

• MSP光速尺寸：2-500��m可调

• 样品尺寸：zui大直径为300mm

• 基板尺寸：zui多可�?0毫米厙�/p>

• 测量厚度范围*�?nm?10��m

• 测量时间：约1�?位置炸�/p>

• 精度*：优�?.25＄�/p>

• 重复性误�?：小�? ?

产品可选项９�/strong>

• 用于反射的光度测量或透射测量

• 用于测量小区域的微小光斑

• 高分辨率数字摄像夳�/p>

• 用于MSP的超长物镛�/p>

• X－Y成像平台(X-Y模式，取�?#961;-��模式)

• 加热/致冷平台

• 样品垂直安装角度讠�/p>

• 波长可扩展到远DUV或IR范围

• 扫描单色仪的配置

应用领域９�/strong> ?

• 玻璃镀膜领域（LowE、太阳能…）

• 半导体制造（PR，Oxide� Nitride..)

• 液晶显示（ITO，PR，Cell gap... ..（�/p>

• 医学，生物薄膜及材料领域筈�/p>

• 油墨，矿物学，颜料，调色剂等

• 医药，中间设夆�/p>

• 光学涂层，TiO2� SiO2� Ta2O5... ..

• 半导体化合物

• 在MEMS/MOEMS系统上的功能性薄膛�/p>

• 非晶体，纳米材料和结晶硅

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