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原理：用超越激光衍射极限的系统来研究样?/span>
NTEGRA Spectra在检测样品时，通过扫描近场光学显微术能提供超越激光光学衍射的光学分辨率、/span>支持两种不同皃/span>SNOM方式：光纤式SNOM和悬臂梁弎/span>SNOM所有的SNOM功能模式：透射模式，反射模式，收集模式、/span>
所月/span>SNOM的信号都可以被检测：激光强度，荧光强度，光谱信号等、/span>
SNOM刻蚀：矢量式，光栅式、/span>
NTEGRA Spectra采用开放式光路设计，使其能够与多种光学仪器进行联用。应用领域包括微区化学成分分析、力学性能、介电性质和光学的反射、透射、传播性能的、碳基化合物、生物材料、半导体等，联用测量的空间研究等等。能够分析各种来源的复杂样品，包括聚合物分辨率已经接近纳米尺度、/span>
技术参?/span> |
扫描方式 |
||
样品扫描 |
针尖扫描 |
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样品尺寸 |
**直径40mm **高度15mm |
**直径100mm **高度15mm |
|
样品重量 |
**100g |
**300g |
|
XY样品定位 |
55mm |
||
定位精度 |
分辨率：5m灵敏度：2m |
||
扫描范围 |
10010010m 332.6m |
10010010m 50505m |
|
**20020020m (DualScanTM模式) |
|||
非线性度＋span>XY （带有闭环传感器（/span> |
=0.1% |
=0.15% |
|
Z方向噪音水平＇span>1000Hz带宽时的RMS（/span> |
带有传感?/span> |
0.04nm（典型值） =0.06nm |
0.06nm（典型值） =0.07nm |
不带传感?/span> |
0.03nm |
0.05nm |
|
XY方向噪音水平＇span>200Hz带宽时的RMS（/span> |
带有传感?/span> |
0.2nm（典型值） =0.3nm(XY 100m) |
0.1nm（典型值） =0.2nm(XY 50m) |
不带传感?/span> |
0.02nm(XY 100m) =0.001nm(XY 3m) |
0.01nm (XY 50m) |
|
线性度评价误差（带有传感器（/span> |
0.5% |
1.2% |
|
光学观察系统 |
光学分辨玆/span> |
1m |
3m |
视野 |
4.5-0.4mm |
2.0-0.4mm |
|
连续变焦 |
?/span> |
?/span> |
|
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