技术参数：在大气环境下：扫描隧道显微镜/ 原子力显微镜(接触 +半接�?非接�?/横向力显微镜/相位成像/力调�?力谱�?粘附力成�?磁力显微�?静电力显 微镜/扫描电容显微�?开尔文探针显微�?扩展电阻成像/纳米压痕/刻蚀: 原子力显微镜(电压+�?/压电力模�?超声原子�?外加磁场/温度控制/气氛控制等功能、�/span>

在液体环境下：原子力显微�?接触+半接�?非接�?/横向力显微镜/相位成像/力调�?粘附力成�?力谱/刻蚀:

测量头部：AFM和SPM可选配液相模式和纳米压痕测量头

扫描方式：样品扫描、针尖扫描、双扫描

**样品尺寸：样品扫描：直径40mm，厚�?5mm。针尖扫描：样品无限�

XY样品定位装置：移动范�?��5um，精�?um

扫描范围�?0��90��9um（带传感�?闭环控制），可选配低电压模式实现原子级分辨

XY方向非线性度：≤0.5%（带传感�?闭环控制�

Z方向噪音水平（带�?000Hz时的RMS值）：闭环控制扫描器（典型�?.04nm�?*0.06nm（�/span>

光学显微系统：配备高数值孔径物镜后，分辨率可由3um提升�?um

样品温度控制：室温~300�