概述

技术特炸�/h2>

为FA和研究实验室提供精确的形貌测量解决方桇�/h4>

样品侧壁三维结构测量

NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必备的、�/p>

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对样品和基片进行表面光洁度测野�/strong>

表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精确的失效分析和质量保证、�/p>

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高分辨率电子扫描模式

QuickStep SCM

*快的扫描式电容显微镜

PinPoint AFM

无摩擦导电原子力显微镛�/p>

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多种独有�?*技术帮助顾客减少测试时闳�/h3>

CrN样品所做的针尖磨损实验

**AFM测量

低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌

没有压电蠕变误差的真正样品表面形貋�/strong>

超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm，从而达到非常精准样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间、�/p>

• 使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量、�/p>

• 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小�?.02 nm、�/p>

• 没有前沿或后沿过冲现豠�/p>

• 终身无需校准，减少设备维护成�?/p>

Park NX系列原子力显微镜

传统的原子力显微镛�/h4>

Park NX20特点

低噪声XYZ位置传感�?/h3>

行业**的低噪声Z轴探测器代替Z电压作为形貌信号。低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的0.15%以下、�/p>

自动多点扫描

借助驱动样品台，步进扫描可编程步进扫描，多区域成像，以下是它的工作流程：

• 扫描成像

• 抬起悬臂

• 移动驱动平台到设定位�?/p>

• 进针

• 重复扫描

该自动化功能可大大减少扫描过程中人工移动样品所需时间，从而缩短测试时间，提高生产率、�/p>

滑动嵌入SLD镜头的自主固定方弎�/h3>

您只需滑动嵌入燕尾导轨便可轻松更换原子力显微镜镜头。该设计可将镜头自动锁定至预对准的位置，同时与复位精度为几微米的电路系统相连接。借助于相关性低的SLD，显微镜可精确成像并可准确测定力-距离曲线、�/p>

高级扫描探针显微镜模式和选项的扩展槽

只需将可选模块插入扩展槽便可激活高级扫描探针显微镜模式。得益于NX系列原子力显微镜的模块设计，其生产线设备兼容性得到大大提髗�/p>

高�?4位数字控制器

所有NX系列的原子力显微镜都是由相同的NX电子控制器进行控制和处理� 该控制器是个全数字，24位高速控制器，可确保True Non-Contact?模式下的成像精度和速度。凭借着低噪声设计和高速处理单元，该控制器也是纳米成像和精确电压电流测量的**选择。嵌入式数字信号处理为原子力显微镜带来更为丰富的功能，更好的解决方案，是高级研究员的**选择、�/p>

XY和Z轴检测器�?4位信号分辨率

• XY轴（50 ��m）的分辨率为0.003nm

• Z轴（15 ��m ）的分辨率为0.001 ��m

嵌入式数字信号处理功胼�/p>

• 三通道数码锁相放大�?/p>

• 弹簧系数校准（热方法（�/p>

• 数据Q控制

集成式信号端叢�/p>

• 专用可编程信号输�?输出端口

• 7个输入端口和3个输出端叢�/p>