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半导体行业专用仪?/a>
其他
光学仪器及设夆/a>
测量/计量仪器
X射线仪器
无损检?无损探伤仪器
Royce 650拉力测试系统
一、特点:
嵌入弎span>PC和流线行设计,更节省空间,更美观 |
整机框架结构采用新型航空铝材,非常坚固轻便,稳定性更髗/span> |
人性化设计的马达驱动显微镜,能保证焦点在弧线路径流畅的移动,保证更开阔、更清晰的视重/span> |
如有需要可以做芯片下压力测试,降低研发与生产成?/span> |
任意测量模块的分辨率都是100ppm,保证各测量模块的测试精?/span> |
系统精度0.15$/span> |
Z分辨玆/span>0.1um |
可选先进的数字图像采集系统,可储存不良品的图片,便于错误追溯与比较 |
Royce已有20多年研发经验,产品的升级创新一直处?*,是目前业界拉力测试仪中精度**的一款设备, |
电动显微镛/span>
只需按下前面板的开关就可以调整显微镜到舒适的高度。马达驱动显微镜保持在它的焦点的弧线路径流畅的移动。没有用来调整的旋钮,没有用于查阅的数字表格、/span>
大面积的伺服X/Y
X轴的运动超过300mm,Y轴的运动超过150mm,这使得Royce 650很容易的适应300mm的晶圆、引线框架和大的电子组件。高速轴允许焊球剪切测试和快速测试片定位、/span>
超小螺距
高精度的光学和亚微米皃/span>X、Y分辨率提供高重复精度的超小间距的测试。可选的放大128X的显微镜可以进行现场监测、/span>
集成的电脑适合小的无尘宣/span>
无尘室是昂贵的、/span>650除去工作台还集成了高标准高精确度的Windows PC,易于使用的包装。你的IT部门也欢迎系统来自同一个来源、/span>
丰富的数据报呉/span>
报告可以生成CSV、XLS或者PDF格式。建立在SQL数据库可以用Royce查询工具进行查询使用。数据可以导出到网络驱动器、打印机、内置的DVD-CD R/W驱动器、向用户提供的USB驱动器或RS232串口端口、/span>
多层次的访问
工艺工程师对机器的操作和安装应有充分的信息。然而生产操作者应该限制访问、/span>为了适应各种用户的访问需?/span>+/span>工艺工程师可以对每种类型的用户设置权限级别、/span>可以设置很多不同的许可,但是2?个就已经足够了。访问权限在用户登录时自动设置、/span>
多种语言
只需点击鼠标,语言就可以转换。支持多种语言,包括繁体中文、简体中文、日语、韩语、德语、法语和英语。其它语言也可以轻松的被安装、/span>
200KGF的管芯剪切力和凸点拉劚/span>
650的异常强劲的底盘和工具允许管芯剪切力和桩拉力?00kgf,并确保将来测试的需要、/span>
可选的Hi-Mag数字图像采集占/span>
数字图像采集卡选择项的安装,对操作者的培训和同客户和供应商的问题的交流是很有用的。变焦镜头的视野仍/span>890um?30um(大?00X?700X?7‘/span>的监视器上)2M像素的USB相机。显示特征的测量使用内置的软件。抓取的图像可以进行保存、打印或发送EMAIL、/span>
高精度的量程模块
系统发挥**限度的用途,每个测试模块可以用于多种力。例妁/span>100gf的测试模块可以运?0gf?5gf?0gf,且100ppm的分辨率在每个测量中。系统在推进实验室实验满足太空飞行的应用、/span>
系统特征
支持多种世界语言:/span>
机型小巧,内置高集成度的Windows PC:/span>
新一代的测试产品比任一测试机精度高10倍;
管芯剪切力可辽/span>200kg:/span>
显微镜高度一键调整;
超大的运行过程提供测野/span>300mm的晶圆或基板:/span>
带有校准存储器和保护工具的超耐用测试模块:/span>
丰富的数据输出和分析的选项:/span>
内置皃/span>SQL数据库询问编辑功能;
可设置用户访问权限水平;
舒适的人机工程学操纵杆控制:/span>
高速锡球剪切力测试:/span>
凸点推力辽/span>200kg:/span>
支持腔体和精细间距拉力测试;
精确的球推力支持一系列皃/span>BGA的应用;
薄片皃/span>3点测试强度;
系统说明
计算朹/span>高性能工业电脑,内?/span>DVD-CD RW驱动器、USB、网络端叢/span>
存储?/span> 32G
伺服马达驱动X/Y 标准?05mm155mm
X、Y分辨 1微米
Z轴分辨率 0.1微米
系统精度0.15$/span>
步进精度1微米?5微米
环形高度测量?/span>
力度曲线?/span>
符合标准Mil Std 883+/span>Mil Std 750+/span>ASTM F1269+/span>JESD22-B117+/span>
JESD22- B116 and CE Certified. ROHS compliant.
测试模块 |
范围 |
可选范図/span> |
||
线拉劚/span> |
100gf 1kgf 10kgf |
50gf 500gf 5kgf |
20gf 200gf 2kgf |
10gf 100gf 1kgf |
管芯剪切劚/span> |
20kgf 200kgf |
10kgf 100kgf |
5kgf 50kgf |
2kgf 20kgf |
线邦定剪切力 |
250gf 1kgf 5kgf |
100gf 500gf 2kgf |
50gf 200gf 1kgf |
25gf 100gf 500gf |
粘片强度3点测诔/span> |
10kgf |
5kgf |
2kgf |
1kgf |
金球推力 夹拉劚/span> |
100gf 1kgf 10kgf |
5gf 500gf 5kgf |
20gf 200gf 2kgf |
10gf 100gf 1kgf |
主机规格
规格(mm(/span> |
560(H)432(W)585(D(/span> |
重量 |
55kg |
电源 |
90?64VAC?7?3Hz |
气源 |
4.0?.5bar |
真空 |
500mm Hg |
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