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产品简介：
EVG 560是一款全自动多腔室晶圆键合系统、/p>
主要特点及参数：
·**支持12英寸?00mm）晶圅/p>
·*多兼?个键合腔宣/p>
·兼容包括SmartView在内的EVG机械/光学对位装置
·拥有独立的底部冷却系绞/p>
产品简介：
EVG 560是一款全自动多腔室晶圆键合系统、/p>
主要特点及参数：
·**支持12英寸?00mm）晶圅/p>
·*多兼?个键合腔宣/p>
·兼容包括SmartView在内的EVG机械/光学对位装置
·拥有独立的底部冷却系绞/p>
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