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产品简介：
EVG 540是一款全自动单腔室晶圆键合系统，常用于中试线和晶圆级封装、三维互联和MEMS领域、/p>
主要特点及参数：
·**支持12英寸?00mm）晶圅/p>
·组合式键合室设计，可同时自动处理*?个键合卡盗/p>
·拥有独立的底部冷却系绞/p>
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