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可编程匀胶机HC150PE
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可编程匀胶机HC150PE

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产品介绍


同/span>称:可编程匀胶机HC150PE

垊/span>号:HC150PE

库/span>用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关、/span>

产品概述?nbsp;


HC150PE可编程匀胶机,采用分体式结构设计,高分子HDPE耐腐蚀内腔?.3英寸触摸屏,工业级直流电机及高级PLC控制,直观清晰的程序界面与设计,美观大方。适合涂胶处理Ø 5~150mm圆晶尺寸基片、/span>
  该匀胶机结构紧凑、简单易用,可编程实现单步旋涂和多步编程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱内操作。HDPE高分子材料旋涂内腔,美观耐腐蚀,经久耐用、/span>

性能参数?nbsp;



  • 适用晶元尺寸范围: 5~150mm:/span>

  • 旋涂速度?00~12000rpm:/span>

  • 转速分辨率?rpm:/span>

  • 旋涂加速度?00-30000rpm/s:/span>

  • **旋涂时间?000s:/span>

  • 旋涂时间精度?.1s:/span>

  • 内腔直径212mm,内腔采用独特的凹面防溅设计:/span>

  • 具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程100组程序,每组程序10步;


  • 电源输入:AC200-230

产品特点



  • 设计紧凑,可轻松放置在手套箱内使用;

  • HDPE高分子材料旋涂内腔,耐腐蚀:/span>

  • 采用分体式结构,易清洁和移动:/span>

  • 4.3英寸彩色触屏控制,易学易用;

  • 精确设置实验参数,运行状态实时显示;

  • 经CNC一体加工成型的HDPE内腔,内腔壁采用独特的凹面设计,有效防溅:/span>

  • 采用高级PLC程序控制,可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂:/span>

  • 具有电机进胶保护功能;管路易疏通设计;

  • 具有真空不足提示及保护功能,具有断电后参数自动保存功能、/span>

  • 可设置用户密码保护功能;

  • 带真空度安全互锁检测功能;

  • 带一路自动点胶接口,可升级自动点胶系统;

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不同尺寸的载物盘

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