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可编程匀胶机HC150PE
产品介绍
同/span>称:可编程匀胶机HC150PE
垊/span>号:HC150PE
库/span>用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关、/span>
产品概述?nbsp;
HC150PE可编程匀胶机,采用分体式结构设计,高分子HDPE耐腐蚀内腔?.3英寸触摸屏,工业级直流电机及高级PLC控制,直观清晰的程序界面与设计,美观大方。适合涂胶处理Ø 5~150mm圆晶尺寸基片、/span>
该匀胶机结构紧凑、简单易用,可编程实现单步旋涂和多步编程旋涂,尺寸小巧,可放入手套箱内操作。HDPE高分子材料旋涂内腔,美观耐腐蚀,经久耐用、/span>
性能参数?nbsp;
适用晶元尺寸范围: 5~150mm:/span>
旋涂速度?00~12000rpm:/span>
转速分辨率?rpm:/span>
旋涂加速度?00-30000rpm/s:/span>
**旋涂时间?000s:/span>
旋涂时间精度?.1s:/span>
内腔直径212mm,内腔采用独特的凹面防溅设计:/span>
具备单步快速旋涂和多步编程旋涂,可编程100组程序,每组程序10步;
电源输入:AC200-230
产品特点
设计紧凑,可轻松放置在手套箱内使用;
HDPE高分子材料旋涂内腔,耐腐蚀:/span>
采用分体式结构,易清洁和移动:/span>
4.3英寸彩色触屏控制,易学易用;
精确设置实验参数,运行状态实时显示;
经CNC一体加工成型的HDPE内腔,内腔壁采用独特的凹面设计,有效防溅:/span>
采用高级PLC程序控制,可编程,实现快速旋涂和多步编程旋涂:/span>
具有电机进胶保护功能;管路易疏通设计;
具有真空不足提示及保护功能,具有断电后参数自动保存功能、/span>
可设置用户密码保护功能;
带真空度安全互锁检测功能;
带一路自动点胶接口,可升级自动点胶系统;
不同尺寸的载物盘