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昂坤视觉（北京）科技有限公司
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产品分类
测量/计量仪器
MOCVD 在线监测系统系列产品
近紫外测温系统viper405
MOCVD在线监测系统 viperRTC–LSS
MOCVD在线监测系统 viperRTC-LSD
F300-DPW
光学仪器及设夆/a>
产品简今/div>
设备描述 Features
晶圆搬运 |
EFEM: 6 / 8 SMIF or 12 FOUP |
适用晶圆 |
Si/GaN/SiC |
晶圆翘曲 |
不大?00um |
晶圆厚度 |
350um~1.5mm（在晶圆底部打开并夹持） |
照明系统 |
明场和斜入射暗场 |
图形化晶圆颗粒检测灵敏度 |
150nm |
非图形化晶圆颗粒检测灵敏度 |
80nm |
检测缺陷分籺/span> |
Particle, scratch, pit, bump, Haze map |
工艺节点 |
90,130nm |
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