E1000 化合物半导体缺陷检测设夆/p>
Eagle1000 化合物半导体缺陷检测设备可以检测蓝宝石，砷化镓，钽酸锂，石英玻璃，磷化銦等衬底及外延片。可以检测并区分颗粒（particle）、凹坑（pit）、凸起（bump）、划伤（scratch）、污点（stain）、裂纹（crack）等缺陷?小可检测缺?1nm；支?@?@?@晶圆检测，具有高产能、检测准确和检出率高的优点、/p>
适应晶圆尺寸Wafer Size
l Size: 4", 6", 8" compatible; 标配4 cassettes; other size upon request
l Thickness: 350um~1500um（其它厚度需要测试）
