检测缺陷类别Defect types
l 缺陷尺寸?.5um or above
l 常规检测:电极异常、外延层脱落、切割道异常、发光区异常、残金、双晶、外延异帷/p>
l 深度学习系统与神经网络算法,可以对缺陷类别进行精准分籺/p>
l 支持用户定义或协商定制缺陷类别,但增加缺陷类别可能会影响产能