主要技术指栆/p>
l 适用于Aixtron Gx 等单片式行星式转盘系?nbsp;
l 测温波长?40nm
l 测量反射率波长：940nm, 633nm 或定?nbsp;
l 曲率测量传感? CCD
l 测温范围: 450?1450?nbsp;
l 测量准确度：±1度，重复性精 <0.5?/p>
l 一个温度反射率测量通道?个曲率测量通道（可配置多通道（/p>
l 2点RTC探头，同时测量温度，反射率和曲率
