三维形貌�?/span>概述

Rtec 形貌仪在加利福尼亚硅谷制造。已被多个知名实验室、大学和行业使用。UP系列在一个头上组合了4种成像模式、�/span>能够在同一测试平台上运行多种测试，只需单击按钮，就能转换成像模式。这种组合可以轻松地对任何表面进行成像如透明、平�?span>�?/span>黑暗�?/span>扁平�?/span>弯曲的表面等。每种成像模式都具有各自的优势，并且各项技术彼此互补、�/span>该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率、�/span>

3D光学轮廓仪组吇�/span>

l白光干涉�?/span>

l旋转盘共聚焦显微镛�/span>

l暗视野显微镜

l明视野显微镜

主要平台规格

产品规格

l标准电动平台150x150mm（可�?10x310mm（�/span>

l标准转塔，电动转塔可逈�/span>

l垂直范围可达100mm

l倾斜阶段6�?/span>

lXY舞台分辨�?.1um

l自动拼接楷模

lSigma� - 白光干涉�?/span>

lLambda� - 白光干涉�?共焦+暗场+明场

应用

◎�/span>粗糙�?/span>◎�/span>体积磨损◎�/span>台阶高度◎�/span>薄膜厚度◎�/span>形貌

测试图像示例

DLC涂层� 粗糙涂层表面 圆球磨斑

金刚矲�/span> 生物� 微流体通道

聚合物涂屁�/span> 墨痕 硬币

研磨�?/span> 铝的失效痕迹 划痕

涂层失效痕迹芯片通道 晶圆

以上为双模式三维表面轮廓仪拍出的样品形貌。在同一平台上结合使用多种光学技术，测试仪可以测量几乎任何类型的nm分辨率样品。该表面轮廓仪配有功能强大的分析软件，符合多种标准。双模式三维表面轮廓仪能够在同一测试平台上运行多种测试，产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测，模式切换可实现自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率、�/span>