l可快速垂直扫描的旋转共焦技�?/span>

l使用高数值孔� (0.95) 以及高倍数� (150�? 3D全视�?D镜头，用以表征坡度分� (超大斜率 <干涉测量> : 72�� vs 44��)

l具有光学形貌上超高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机，空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的理想配置

l在测量表面粗糙度/表面反射率上没有限制

l应用于透明�?薄膜

l兼容亮视�?暗视重� 光学DIC

l长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之逈�/span>

l高稳定�?/span>

lZ向高分辨玆�/span>

l兼具相移（PSI）以及垂直扫描（VSI）模弎�/span>

lZ向分辨率可独立放�

l四色CCD 相机，用户可自选的LED光源 (白光、绿先�span>�?/span>蓝光和红�?

l高达五百万像素的可自动分辨的CCD 相机

l快速处理器

l自动对焦

l探针扫描可用于大型模松�/span>

lX�?/span>Y�?/span>Z三向可达原子级分辨率

l大压电探针扫描XY: 达到 110x110um

l粗糙表面分析

l快速分枏�/span>

l特点：一台设备上集成非接触式白光干涉形貌� 高精度原子力显微镛�/span>