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等离子化学气相沉积系?PECVD

等离子化学气相沉积系?PECVD
  • 品牌9span>助研仪器
  • 产地9span>安徽
  • 关注度:169
  • 型号9span>等离子化学气相沉积系?PECVD
  • 报价9span class="jg_red">面议
  • 信息完整度:
核心参数
    产品介绍

    名称:等离子化学气相沉积系统-PECVD

    型号:ZYE-1200-PE

    简介:为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)。它是由500W射频电源?200℃单温区管式炉、三通道质量流量混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统用于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜筈/p>

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    面议
    工商信息

    企业名称

    安徽助研仪器有限公司

    企业类型

    信用代码

    91340100MA8QGEQ06U

    法人代表

    注册地址

    成立日期

    注册资本

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    经营范围

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