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安徽贝意克设备技术有限公号/p>
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这是一款定制组合式PECVD设备、/span>该设备主要由加热炉、射频组件、气路柜组成、/span>
1、开启式加热炈/span>
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，酌/span>K型热电偶＋/span>3点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管、/span>
2、射频组仵/span>
500W射频机组，可以使整个实验腔体都处于辉光产生区，辉光均匀等效、/span>
3、气路柜组件
可控制多种气体按照不同流量进行混合配比，由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头组成，外形美观，操作简便，数据直观可读、/span>
加热总功玆/span> |
?KW |
额定电压 |
220V |
**温度 |
1200ℂ/span> |
工作温度 |
?100ℂ/span> |
升温速率 |
?0?min |
加热元件 |
电阻东/span> |
加热区长?/span> |
200+200+200mm |
热电偵/span> |
K型热电偶 |
控温方式 |
模糊PID控制和自动整定调节，智能?0段可编程控制，具有超温和断偶报警功能 |
控温精度 |
±1ℂ/span> |
设备尺寸 |
2700x600x1250mm |
设备重量 |
?/span>180KG |
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企业名称
安徽贝意克设备技术有限公号/span>企业类型
信用代码
91340100591423143H法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
