一、设备组戏�/strong>

这是一款组合管弎�/span>CVD设备、�/span>该设备主要由多路供气系统、三温区加热炉、低真空系统、以及智能控压组件组成、�/span>

1、开启式加热炉：

三温区加热炉使用轻质氧化铝纤维材质，K型热电偶测温搭配优质电阻丝为加热原件，内部温场均匀、�/span>

2、多路供气系绞�/span>

质量流量计可按照程序设定，对多路气体进行单独或者混合。操作方便，控制精确、�/span>

3、智能控压组仵�/span>

通过真空计实时监测管内压力，PLC根据设定压力大小调节阀开启大小，以控制管内压力稳定、�/span>

4、低真空系统

配备进口机械泵，进口真空计，质量可靠、�/span>

二、技术参�?/strong>