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安徽贝意克设备技术有限公号/p>

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连续送料出料回转PECVD系统 BTF-1200C-R-PECVD-AD2

连续送料出料回转PECVD系统 BTF-1200C-R-PECVD-AD2
  • 品牌9span>贝意兊/span>
  • 产地9span>安徽合肥
  • 关注度:377
  • 型号9span>BTF-1200C-R-PECVD-AD2
  • 报价9span class="jg_red">面议
  • 信息完整度:
核心参数
  • 非金属电热元件:其他
  • 金属电热元件9span>铁铬铝丝
  • 烧结气氛9span>其他
  • 温控精度9span>±1ℂ/span>
  • 最高温度:1200ℂ/span>
  • 额定温度9span>?000ℂ/span>
产品介绍

一、设备组戏/span>

设备组成部分包含?)加热系?)Plasma系统3)炉管转动系?)炉管倾斜系统5)触屏操作系?)进出料组件7)进出气法兰组件8)炉管及安全保护组件 9)真空系统?0)场内小电流装置


二、结构描?/span>

1、加热系统:

该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,该系统设置有超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。温区为单温区,温区?40mm,异形石英管规格采用Φ60*Φ100*1200、/span>

2、Plasma系统9/span>

本系统借助于辉光放电产生等离子体,辉光放电等离子体中,电子密度高,通过反应气态放电,有效利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式、/span>

3、炉管转动系统:

炉管转动系统可以让炉?60°匀速转动,转速在0-20rpm连续可调、/span>

4、搅拌转动系统可以实?60°匀速转动,转速在0-30rpm连续可调、/span>

5、炉管倾斜系统可以大角度倾斜,方便进出料,倾斜角度?-30°之间、/span>

6、触屏操作系统:该系统可以让设备在自动模式下高度自动化运行,所有参数程序设定好后自动运行:可实现按照设定程序连续工作,可设置多工作段不同参数,并可进行某工作段循环工作及某程序循环工作、/span>

7、进出料组件:进料端由进料罐+送料机构组成,出料端由收集罐+手动辅助升降组件组成

8、进出气法兰组件:设备法兰左端为进气端,一侧配有截止阀控制的进气口,对接混气罐输出的气体。另一侧预留KF25接口。右端为出气端,一侧由球阀控制的出气口,另一侧为KF25抽口、/span>

9、炉管及安全保护组件:炉管为异形石英管,通过左右两端磁流体密封法兰实现真空下的回转,设备左端法兰配有SMC安全保护组件、/span>

10、真空系统:由一个PCG550真空计和一台DRV16机械泵组成,抽口端由KF25手动挡板阀控制、/span>

11、场内小电流装置:设备左端为正极:由不锈钢杆和导电片组成;右端为负极,由不锈钢导电片固定在送料杆端头。正极配有外端接线棒、/span>

本设备采用承重框架结合钣金包围形式。机架采用深灰色、门板等采用时尚橘纹白。设备简约又不乏稳重,更具备操作直观方便、控温精确等性能、/span>


三、技术参?/span>

额定功率

4KW

额定电压

AC220V

**温度

1200ℂ/span>

使用温度

950-1000ℂ/span>

炉管尺寸

异型管?0x100x1200mm

炉管旋转速率

0~20rpm

搅拌旋转速率

0~30rpm

炉体倾斜角度

0~35°(可调)

热电偶类垊/span>

K型热电偶

控温精度

±1ℂ/span>

控温方式

模糊PID控制和自动整定调节,智能?0段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

射频功率范围

0-500W

加热长度

440mm

恒温长度

200mm

加热元件

电阻东/span>

升温速率

0-20?min,建?0?min


问商宵/div>

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工商信息

企业名称

安徽贝意克设备技术有限公号/span>

企业类型

信用代码

91340100591423143H

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。公司历经十余年的艰苦创业已由当年的行业追随者发展成为今天的行业领跑者 公司重视技术攻关和产品研发,建有一流的产品研发中心,拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍,累计获得**200余项。并通过产学研合作,与北京大学南开大学等多所知名院校建立联合实验室及研究生联合培养基 公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造,产品门类

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