炉管尺寸

φ80mm（外径）

加热元件

硅碳棑�/span>

工作温度

�?350ℂ�/span>

温控系统

30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为液晶触摸屏控制

控温精度

±1ℂ�/span>

加热区长�?/span>

750mm(3点控温）

气路系统内部装有5路高精度质量流量计可准确的控制气体流量，按要求配比，配有1路鼓泡器

控制范围

2�?00％F.S.

准确�?/span>

�?0SLM ±1％F.S.，＞10SLM ±2％F.S.

线�?/span>

�?0SLM ±0.5％F.S.，＞10SLM ±2％F.S.

重复精度

±0.2％F.S.

响应时间

�? sec

预抽真空泵抽逞�/span>

30m³/H

设备功率

18KW

液态碳源调控注入系绞�/span>

注液规格

10ul-140ml

工作模式

注入，抽取，注入抽取，抽取注入，连续模式

通道�?/span>

1

**行程

140mm

行程分辨玆�/span>

0.156um/ustep

线速度范围

1um/min-150um/min

线速度调节分辨玆�/span>

1um/min

行程控制精度

误差＜�?.35%（行程＞**行程30%时）

冷却水要汁�/span>

制冷野�/span>

2361btu/h

流量

不小�?0L/min