一、设备组戏�/strong>

这是一款智能型PECVD系统。该设备主要分为四大部分：多温区管式炉、射频组件、气路系统、及自动化控制软件集成系统、�/span>

1、开启式加热炈�/span>

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶�?点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可电动开启方便客户更换维修反应管、�/span>

2、气路系绞�/span>

可由质量流量计精确控制多路气体按不同流量进行混合配比，另外单�?路过鼓泡器后进入反应管内、�/span>

3、射频组仵�/span>

1000W高性能射频辉光均匀，可使整个反应腔体都处于辉光产生区、�/span>

4� 智能控制系统

采用智能PID模糊控制�?0段可编程控制。具有超温和断偶报警功能、�/span>

二、技术参�?/strong>