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安徽贝意克设备技术有限公号/p>

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当前位置9/div> 贝意兊/a>> 产品中心 >

小型滑轨式PECVD系统

小型滑轨式PECVD系统
  • 品牌9span>贝意兊/span>
  • 产地9span>安徽
  • 关注度:3612
  • 型号9span>BTF-1200C-S-SL-PECVD
  • 报价9span class="jg_red">面议
  • 信息完整度:
核心参数
  • 非金属电热元件:其他
  • 金属电热元件9span>铁铬铝丝
  • 烧结气氛9span>真空
  • 温控精度9span>±1ℂ/span>
  • 最高温度:1200ℂ/span>
  • 额定温度9span>1100ℂ/span>
产品介绍

一、设备简今/span>

我公司研制的滑轨式PECVD系统能使整个实验腔体都处于辉光产生区,辉光均匀等效,这种技术很好的解决了传统等离子工作不稳定状态,这样离子化的范围和强度是传统PECVD的百倍,并解决了物料不均匀堆积现象。该款设备是全自动Plasma增强CVD系统(PECVD),系统可以实现连续滑动温区,连续可控制温度及Plasma强度。PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体,辉光放电等离子体中9/span>

1、电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高?0-100倍,使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应,从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术、/span>

2、通过反应气态放电,有效地利用了非平衡等离子体的反应特征,从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点,工艺流程简協/span>


二、主要基本参?/span>

1、加热系绞/span>

使用温度

1200ℂ/span>

使用温度

?100ℂ/span>

炉膛有效尺寸

Φ50mm

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制?/span>

热电偶类垊/span>

K型热电偶

控温精度

±1ℂ/span>

控温方式

30段可编程控温+/span>PID参数自整定、/span>

加热长度

230mm

恒温长度

100mm

加热原件

电阻东/span>

供电电源

单相?20V+span style="font-size: 16px; margin: 0px; line-height: 24px; font-family: arial;">50Hz

2、PE系统

功率输出范围

0W~150W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定?/span>

?W

谐波分量

?50dbc

供电电压

单相交流?87V-253V(/span>频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷


3?/span>三路质子流量控制系统

连接头类垊/span>

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

50sccm?00sccm?00sccm

(可根据用户要求定制(/span>

准确?/span>

±1.5%F.S

线?/span>

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性:1? Sec,电特性:10 Sec

工作压差范围

0.1?.5 MPa

压力

?MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显礹/span>

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空?/span>

?.1?.15 MPa, 0.01 MPa/栻/span>

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6


4?/span>低真空机练/strong>

空气相对湿度

?5%

工作环境

5℃~40ℂ/span>

工作电电厊/span>

220V

抽气速率

10m³/h

极限真空

5X10-1Pa(空载冷态)

工作压力范围

1.01325X105?.33X10-2Pa

进气口口徃/span>

KF25

排气口口徃/span>

KF25

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连


问商宵/div>

  • 小型滑轨式PECVD系统的工作原理介绍?
  • 小型滑轨式PECVD系统的使用方法?
  • 小型滑轨式PECVD系统多少钱一台?
  • 小型滑轨式PECVD系统使用的注意事顸/li>
  • 小型滑轨式PECVD系统的说明书有吗>/li>
  • 小型滑轨式PECVD系统的操作规程有吗?
  • 小型滑轨式PECVD系统的报价含票含运费吗?
  • 小型滑轨式PECVD系统有现货吗>/li>
  • 小型滑轨式PECVD系统包安装吗>/li>
工商信息

企业名称

安徽贝意克设备技术有限公号/span>

企业类型

信用代码

91340100591423143H

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。公司历经十余年的艰苦创业已由当年的行业追随者发展成为今天的行业领跑者 公司重视技术攻关和产品研发,建有一流的产品研发中心,拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍,累计获得**200余项。并通过产学研合作,与北京大学南开大学等多所知名院校建立联合实验室及研究生联合培养基 公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造,产品门类

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