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安徽贝意克设备技术有限公号/p>
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一、设备简介：
该设备为我司研发用于材料连续生长的专用设备，此款设备是快速冷却卷对卷等离子体增强CVD连续生长炉，它由高温生长腔体，质量流量计气路系统，真空机组，RF射频电源模块，石英管，冷却装置，收放卷的密封装置，自动化控制系统组成，两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室（即收放卷的密封装置），收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，所输出料排气腔体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点、/span>
二、技术参?/span>
1.加热系统
使用温度 |
1200ℂ/span> |
使用温度 |
?100ℂ/span> |
炉管尺寸 |
Φ150mm（炉管直径可根据实际需要定制。） |
炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制?/span> |
热电偶类垊/span> |
K型热电偶 |
控温精度 |
±1ℂ/span> |
控温方式 |
30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面?”工控电脑，内置PLC控制程序、/span> |
加热长度 |
200+200+200mm |
加热原件 |
电阻东/span> |
供电电源 |
单相?20V?0Hz |
2、PE系统
功率输出范围 |
0W~1000W |
反射功率 |
?00W |
射频输出接口 |
50 Ω, N-type, female |
功率稳定?/span> |
?W |
谐波分量 |
?50dbc |
供电电压 |
单相交流?87V-253V?nbsp;频率50/60HZ |
整机效率 |
>=70% |
功率因素 |
>=90% |
冷却方式 |
强制风冷 |
3、三路质子流量控制系绞/span>
连接头类垊/span> |
双卡套不锈钢接头 |
标准量程（N2) |
200sccm?00sccm?000sccm（可根据用户要求定制（/span> |
准确?/span> |
±1.5%F.S |
线?/span> |
±1%F.S |
重复精度 |
±0.2%F.S |
响应时间 |
气特性：1? Sec，电特性：10 Sec |
工作压差范围 |
0.1?.5 MPa |
压力 |
?MPa |
接口 |
Φ6,1/4'' |
显示 |
4位数字显礹/span> |
工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
压力真空?/span> |
?.1?.15 MPa, 0.01 MPa/栻/span> |
截止阀 |
Φ6 |
内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
4、低真空机组
空气相对湿度 |
?5% |
工作环境 |
5℃～40ℂ/span> |
工作电电厊/span> |
380V |
抽气速率 |
32m³/h |
极限真空 |
5X10-1Pa（空载冷态） |
工作压力范围 |
1.01325X105?.33X10-2Pa |
进气口口徃/span> |
KF40 |
排气口口徃/span> |
KF40 |
连接方式 |
采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
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企业名称
安徽贝意克设备技术有限公号/span>企业类型
信用代码
91340100591423143H法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
