使用温度

�?100ℂ�/span>

炉膛有效尺寸

Φ50mm（炉管直径可根据实际需要定制）

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制�?/span>

热电偶类垊�/span>

K型热电偶

控温精度

±1ℂ�/span>

控温方式

30段可编程控温，PID参数自整宙�/span>

加热长度

200+200mm

恒温长度

100+100mm

加热原件

电阻东�/span>

供电电源

单相�?20V�?0Hz

炉膛有效尺寸

Φ50mm（炉管直径可根据实际需要定制）

炉膛材料

氧化铝、高温纤维制�?/span>

热电偶类垊�/span>

K型热电偶

控温精度

±1ℂ�/span>

控温方式

30段可编程控温，PID参数自整宙�/span>

加热长度

100mm

加热原件

电阻东�/span>

额定功率

800W

zui大反射功玆�/span>

100W

射频输出接口

50 Ω, N-type, female

功率稳定�?/span>

�?W

谐波分量

�?50dbc

供电电压

单相交流�?87V-253V（�/span>频率50/60HZ

整机效率

>=70%

功率因素

>=90%

冷却方式

强制风冷

标准量程（N₂)

50sccm�?00sccm�?00sccm

（可根据用户要求定制（�/span>

准确�?/span>

±1.5%F.S

线�?/span>

±1%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

气特性：1�? Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围

0.1�?.5 MPa

zui大压劚�/span>

3MPa

接口

Φ6,1/4''

显示

4位数字显礹�/span>

工作环境温度

5~45高纯气体

压力真空�?/span>

�?.1�?.15 MPa, 0.01 MPa/栻�/span>

截止阀

Φ6

内外双抛不锈钢管

Φ6

工作环境

5℃～40ℂ�/span>

工作电电厊�/span>

280V

抽气速率

32m³/h

极限真空

5X10-1Pa（空载冷态）

工作压力范围

1.01325X105�?.33X10-2Pa

耐压倻�/span>

0.03MPa

进气口口徃�/span>

KF40

排气口口徃�/span>

KF40

连接方式

采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连