加热区参数：

加热元件:电阻丝（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo（�/span>
加热区长度：400mm�?00+200mm（�/span>
恒温区长�? 200mm (100+100mm)（�?℃）
工作温度�?100ℂ�/span>
zui高温度：1200ℂ�/span>
控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能
控温精度:±1ℂ�/span>

zui大升降温速率：≤30�?min

炉管：高纯度石英管�?5\50\60\80\100\150x2000mm (管径可�?

标准配件：石英管1支，莫来石管�?对，不锈钢法�?套，氟胶密封�?套，高温手套1副，坩埚�?支；

尺寸约：2000×600×1500 mm（长、宽、高（�/span>

备注：可选配单温区、双温区、三温区等加热区、�/span>

气路系统参数９�/span>

质量流量计参考量程（N2)�?00sccm�?00sccm�?00sccm （量程可选）

准确度：±1.5%

线性：±0.5�?.5%

重复精度：�?.2%

响应时间：气特性：1�? Sec，电特性：10 Sec

工作压差范围�?.1�?.5 MPa

zui大压力：3MPa

接口：�?,1/4''

显示�?位数字显礹�/span>

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管：�?

压力真空表：�?.1�?.15 MPa, 0.01 MPa/栻�/span>

截止阀：�?

连接头类型：双卡套不锈钢接头、�/span>

备注：可选配一路、两路、三路、四路等以上质量流量计、�/span>

低真空系统参数：

国产油泵型号：BSV-10

抽速：10m³/h

极限真空度：5*10-1pa

电源�?20v 50hz

电机功率�?.4kw

进排气连接口：KF25

用油量：1.1L

电机转速：1440rpm

工作环境温度�?-40ℂ�/span>

噪音：≤56db

电阻真空计参数：

1.配用规管：ZJ-52T电阻规，

2.测量范围� 10 5 �?0 -1 Pa＋�/span>

3.测量路数� 1�?/span>

4.控制范围� 5×10 3 �?×10 -1 Pa＋�/span>

5.控制方式：继电器触点输出，负载能� AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载＋�/span>

6.电源� 90-260V/50Hz�?20V ± 10% 50Hz＋�/span>

7.功耗： 20W

射频源主要参数：

信号频率�?3.56 MHz±0.005%

功率输出范围�?-500W

zui大反射功玆�100W

射频输出接口�?0 Ω, N-type, female

功率稳定性：�?W

谐波分量：≤-50dbc

供电电压：单相交流（187V-253V�?nbsp;频率50/60HZ

整机效率�?gt;=70%

功率因素�?gt;=90%

冷却方式：强制风冶�/span>

备注：可根据腔体大小选择射频源功率、�/span>