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中科艾尔(北京)科技有限公司
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产品介绍
手动真空波纹管角阀采用316L波纹管并结合洁净工艺处理,使阀门在使用过程中减少颗粒物的产生,非常适用于半导体行业或研究环境。它主要用于规格仪表或系统隔离,同时也推荐作为通气、旁路或粗抽阀使用、/span>
主要部件材料
阀?nbsp; 316L/316L(VIM+VAR(/span>
密封?nbsp; FKM
波纹?nbsp; 316L
手柄 6061
工作条件
真空压力等级0.1Mpa-1x10-9pa
漏率 1×10-10Pa.m3/sec.He
CV倻/span>1.0/1.5/2.2
工作温度 -10 80ℂ/span>
内表面粗糙度 Ra 0.13μm
产品特点
采用 316L 波纹管并结合洁净工艺处理
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