产品介绍

MGDS气体输送系统为一体化气体分配系统技术提供了一种方法，利用平面密封技术，在更紧凑的气体面板上构建气体输送系统。每个表面安装组件遵� SEMI 标准，可根据需求形成不同的配置形式。维护时＋�/span>仅需在面板上方进行操作，简单方便、�/span>

MGDS 系列配套专用的减压器、隔膜阀、单项阀、底座及零部件、�/span>

主要部件材料

MGDS底座系列 316L /316L（VIM+VAR（�/span>
MHD系列 316L/316L（VIM+VAR�?Ni-Co alloy
MPD系列 316L/316L（VIM+VAR�?Ni-Co alloy

MCV系列 316L/316L（VIM+VAR�?Ni-Co alloy+FFKM

工作条件

工作压力0 � 150psi
外漏�?nbsp; � 1×10^-10Pa.m³/sec.He

工作温度 -10 � 60ℂ�/span>

内表面粗糙度 Ra � 0.13μm

产品特点

利用平面密封技术，在更紧凑的气体面板上构建气体输送系绞�/span>