产品介绍

MGDS 隔膜阀，膜片式硬密封结构，超低漏率；适用于超高纯度气体，半导体用（毒、腐）气体，满足一体化气体分配系统的使用、�/p>

主要部件材料

阀�?nbsp; 316L /316L（VIM+VAR�?nbsp;

膜片 Ni-Co alloy /UNS R30003

密封�?nbsp; PCTFE

工作条件

工作压力 150psig

爆破压力 450psig

流量系数 0.1/0.3HF

工作温度 -10 � 80ℂ�/p>

内漏�?nbsp; � 1×10-10Pa.m3 /sec.He

外漏�?nbsp; � 1×10-10Pa.m3 /sec.He

内表面粗糙度 Ra � 0.1μm

产品特点

适用于一体化气路分配系统

每台阀门进行单独氦质谱泄漏测试

超长使用寿命