产品介绍

前驱体源瓶用于固态、液态及气态超纯物料类的封装，涉及微正压、常压、中低压的危险化学品，对源瓶的安全性和洁净度提出严苛的要求、�/span>

主要部件材料

阀�?nbsp; 316L /316L（VIM+VAR（�/span>
瓶体 316L

工作条件

工作压力0.8Mpa

内漏�?nbsp;� 1×10^-10Pa.m³/sec.He

外漏�?nbsp;� 1×10^-10Pa.m³/sec.He

工作温度 0 � 150ℂ�/span>

内表面粗糙度 Ra � 0.2μm

产品特点

超纯物料类的封装

涉及微正压、常压、中低压