槽式去胶单元——在槽式单元中使用药液浸泡晶圆,该槽体一次可容纳多片晶圆以提高产能、/p>
单片去胶腔体——将药液喷洒在旋转晶圆表面,更好地独立控制每片晶圆工艺、/p>
使用便捷
精确的药液控刵/p>
槽式单元预浸泡工艹/p>
药液回收使用可减少成?/p>
优化安全配置
结合先进的晶圆清洗工艹/p>
多层过滤功能
兼容8吋和12吋晶圅/p>
配有浸泡槽体
配有单片去胶腔体,包括:
a.*多可配至5种药液进行双面清洗工艹br style="box-sizing: border-box; outline: 0px; padding: 0px; margin: 0px;"/> b.*多可回收2种药涱br style="box-sizing: border-box; outline: 0px; padding: 0px; margin: 0px;"/> c.单片腔体可搭载空间交变相位移兆声?SAPS)组件
d.可选配有高压solvent/DIW喷洗