智能工序功能 - 对于不同的金属腐蚀工艺，如铜刻蚀后再进行钛刻蚀，可预设工艺菜单与工序后，在设备中一次完成、�br style="box-sizing: border-box; outline: 0px; padding: 0px; margin: 0px;"/>

主要优势

先进的喷嘴扫描系绞�/p>

精确的药液控刵�/p>

药液回收使用可减少成�?/p>

专注安全�?/p>

特性和规格

兼容8寸和12寸晶圅�/p>

*多可配至4个单片腔佒�/p>

*多可配至5种药液进行双面清洗工艹�/p>

*多可回收2种药涱�/p>