产品简今/div>
显影设备
应用领域
曝光后烘 (PEB)
显影
坚膜
主要优势
三种显影方式集于一佒/p>
灵活的喷嘴扫描系绞/p>
技术先进,使用便捷
精确的药液控刵/p>
特性和规格
兼容8英寸?2英寸晶片
可配?多四个显影腔佒/p>
双面工艺, 每个显影腔体内配??套液体喷嘳/p>
2?个热盗/p>
2?个冷却盘
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