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显影设备
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显影设备

应用领域

曝光后烘 (PEB)

显影

坚膜

主要优势

三种显影方式集于一佒/p>

灵活的喷嘴扫描系绞/p>

技术先进,使用便捷

精确的药液控刵/p>


特性和规格

兼容8英寸?2英寸晶片

可配?多四个显影腔佒/p>

双面工艺, 每个显影腔体内配??套液体喷嘳/p>

2?个热盗/p>

2?个冷却盘


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