盛美半导体设备（上海）股份有限公号/div>
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产品详情
立式炉设夆/div>
- 参考报价：
- 面议
- 品牌９/dt>
- 盛美半导佒/dd>
- 关注度：
- 938
- 样本９/dt>
- 暂无
- 型号９/dt>
- 立式炉设
- 产地９/dt>
- 美国
- 信息完整度：
-
- 典型用户９/dt>
- 暂无
产品简今/div>
主要优势
具有高产、可靠和稳定的性能。通过高精度的温度控制技术、良好的均匀性和小颗粒控制，来保持优异的薄膜质量：/p>
通过更高性能的增强设计实现高产能，并减少停机维护时间：/p>
运用气体对腔体进行干法清洗，来控制小颗粒杂质：/p>
装载区运用低氧控制技术以抑制晶圆表面的自然氧化、/p>
特性和规格
可以一次性操作装载的晶圆数量?0-125片（晶圆/批）
可配备快速升降温控制系统
腔体原位干法清洗系统
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