主要优势

小尺寸，高产胼�/p>

先进的IPA干燥方式

工序可灵活编辐�/p>

无盒式（No-Cassette�?0片晶圆批次处琅�/p>

节能减排，降低成�?/p>

特征规格

配备先进的IPA干燥槼�/p>

配备稳定的晶圆传输系绞�/p>

模块化设计，可客制化组合选配

可选配一体式清洗模块（多种化学药水与纯水在同一槽中进行工艺（�/p>

可选配兆声波清洖�/p>

关键应用