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主要优势

由伯努利夹盘对晶圆背面进行全面保抣�/p>

药液回收功能可降低成�?/p>

可集成氮气二流体清洗功能

可灵活应用于湿法刻蚀工艺，如硅蚀刻及薄膜蚀刻工艹�/p>

先进的喷嘴扫描系绞�/p>

精密的湿法刻蚀均匀度控刵�/p>

精密的化学药液供绘�/p>

可灵活应用于多种衬底材料，包括重掺杂片、Bonding 片、超薄片筈�/p>

特征规格

*多可配至8套清洗腔佒�/p>

配备晶圆翻转单元

*多可配至5种药液进行清洗工艺或者湿法刻蚀工艺, RCA 药液, 氢氟酸，氢氟�?硝酸混合�? 配方药液筈�/p>

伯努利夹盘可对晶片背面全面保抣�/p>

*多可回收2种化学药涱�/p>