TEBO----用于先进器件的清洗技�?/p>

主要优势

智能兆声波技�?/p>

使用便捷

精确控制

减少成本、保护环墂�/p>

特性和规格

*多可配至12套清洗腔�? 产能可达375 �?小时

具有双面清洗能力, *多可配至5种清洗药液，工艺灵活

*多可以回�?种药涱�/p>

使用高温IPA干燥技�?/p>

配备TEBO智能兆声波组仵�/p>

集成式药液供给模块，可供给DHF，SC1，SC2, 功能水，二氧化碳水等