采用自主开发的全新一代智能全闭环控制系统，实现高精度的厚度、动态压力等测量!采用高精度位移传感器，测�?*精度达到+0.01mm�?小分辨率0.5um;

利用智能气动控制，移动速度、压力可以调节设�?

测量可实现动态保压功能，**压力控制精度: 1.5kgf (0.3%FS)

采用超厚模架设计及大理石支撑板，确保测量过程及温度变化不形变;

设备完整意义上的一体化，单输入控制窗口，避免不同界面之间的复杂操作，控制简单，6采用自主开发控制系统，避免传统测量方法的超压和误差过大�?*效率可达6ppm;