器件的制造是通过一系列精确控制的加工工艺完成的，为了保证每步工序都能正确地进行，在每一个工艺步骤中都有许多测量和监控技术，其中光学测量由于其非接触、无破坏、无污染的特点被广泛使用、�/span>

其中，光学测量的一项重要内容是薄膜特�?/span>———例如厚度和光学性质。目前，常用的光学测量技术根据其原理可分丹�/span>: 光吸收法、干涉监控法、偏振光分析法等、�/span>

今天小编为大家介绍的这款椭偏�?/span>采用偏振光分析法＇�/span>也称丹�/span>椭圆偏振光谱测量技�?/span>），该方法是利用偏振光在材料表面反射后，相应偏振态的改变来测量该材料的光学性质、�/span>

椭偏�?/span>概况

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量设备。由于并不与样品接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备、�/span>

椭偏仪应�?/span>

椭偏仪可测的材料包括：半导体、电介质、聚合物、有机物、金属、多层膜物质、�/span>

椭偏仪涉及领域有：半导体、通讯、数据存储、光学镀膜、平板显示器、科研、生物、医药等、�/span>

椭偏法测量优炸�/span>

1�?/span>能测量很薄的膛�/span>(1nm)，且精度很高，比干涉法高1~2个数量级、�/span>

2�?/span>是一种无损测量，不必特别制备样品，也不损坏样品，比其他精密方法如称重法、定量化学分析法简便、�/span>

3�?/span>可同时测量膜的厚度、折射率以及吸收率。因此可以作为分析工具使用、�/span>

4�?/span>对一些表面结构、表面过程和表面反应相当敏感，是研究表面物理的一种方法、�/span>

椭偏仪的分类及介绌�/span>

椭偏仪按照测试原理的不同，主要分为消光式和光度式两类、�/span>大体可以分为PCSA 型消光式椭偏仪、旋转偏振器件型椭偏仪、相位调制型椭偏仪、椭偏光谱仪、红外椭偏光谱仪、成像椭偏仪和广义椭偏仪、�/span>

椭偏�?/span>厂家介绍

今天，小编为大家介绍的这宵�/span>椭偏�?/span>厂家—–�/span>HORIBA科学仪器事业�?/span>，公司总部�?/span>1953年成立，是一家分析检测仪器和设备制造商，并且以其高精尖的产品成功地将市场拓展到了全球各个国家和地区、�/span>

HORIBA 研究级全自动椭偏仪UVISEL 2

技术参数：

光谱范围�?90-2100 nm

8种光斑尺寷� �?5 X 85 um

探测器：3个独立探测器，分别优化紫外，可见和近红外

自动样品台尺寸：200mm X 200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高�?gt;35mm

样品水平度自动调敳�/p>

自动量角器：变角范围35°- 90°，全自动调整，小步长0.01°

HORIBA一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE

主要特点

1. 液晶调制技术，无机械转动部件，重复性，信噪比高

2. 技术成像技术，所有样品均可成像，对于透明样品，自动去除样品的背反射信号，使得数据分析更简協�/span>

3. 反射式微光斑，覆盖全谱段，利于非均匀样品图案化样品测诔�/span>

4. 全自动集成度高，安装维护简侾�/span>

5. 一键式操作软件，快速简協�/span>

6. 自动MAPPING扫描，分析样品镀膜均匀�?/span>

技术参�?/span>

1. 光谱范围�?50-1000 nm

2. 多种微光斑自动选择

3. 光斑可视技术，可观测任何样品表靡�/span>

4. 自动样品台尺寸：200mmX200mm；XYZ方向自动调节; Z轴高�?gt;35mm

5. 70度角入射

6. CCD探测�?/span>

参考资料：

朱绪丹等.《椭圆偏振光谱测量技术及其在薄膜材料研究中的应用》HORIBA科学仪器事业�?/span>