半导体制造用高纯超细碳化硅粉末产品产业化项目通过验收

由青海大学和青海省方盛 磨料 磨具公司共同承担的《半导体制造用高纯超细 碳化硅粉末产品开发》高新技术产业化项目最近通过验收。

　　这一项目采用碳化硅单结晶加工物做为粉碎介质、应用水流粉碎机、粉碎工程内分级和酸碱洗净技术，开发出了纯度高、杂质含量低的超细碳化硅微粒，并打入了国际市场。目前，这种产品已试生产了60吨，新增利润72万元。

　　验收评审中，专家委员会认为这个项目中的工艺路线具有创新性，研究总体水平达到了国内领先水平，项目开发出的产品附加值高，成本低，具有显著的经济效益、社会效益和广阔的应用前景。