我国自主开发的球形硅微粉问世

近日，江苏省连云港市晶瑞 石英工业开发研究院得自主研发的“高频等离子制备球形 硅微粉关键技术及产品” 近日通过部级鉴定，并将被纳入国家863计划。

球形硅微粉主要用于大规模集成电路封装，在航空、航天、精细化工、可擦写光盘、大面积电子基板、特种陶瓷以及日用化妆品等高新技术领域也使用这种产品。据预计，到2010年世界对球形硅微粉的需求量将超过30万吨，价值数百亿元。

制备球形硅微粉是一项跨学科高难度工程，世界上只有美、日、德、俄等少数国家掌握此技术。连云港市晶瑞石英工业开发研究院研发的“高频等离子制备球形硅微粉”经过清华大学和南京大学的权威机构检测及北京科化和昆山长兴等单位使用，均认为其主要指标达到使用要求，并接近国外同类产品水平。

在由中国建筑材料工业协会组织的技术及产品鉴定会上，与会专家一致认为，连云港市晶瑞石英工业开发研究院独立承担的“高频等离子制备球形硅微粉”技术水平居国内领先，产品主要性能指标达到国际先进水平。专家们认为，该项目的研究成功，填补了国内空白，替代进口，社会效益和经济效益十分显著。“高频等离子制备球形硅微粉”的成功投产，将对我国硅资源产业以及电子信息产业的发展将起到巨大的推动作用。